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气体工程
高纯和超高纯气体工程
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① 高纯和超高纯气体工程     ② 医用气体工程     ③ 工业气体管道工程



高纯气体通常指纯度为99.99%~99.9999%、有害杂质含量小于或等于1*10-5 的气体,超高纯气体通常指等于或高于99.9999%和有害杂质含量小于或等于1*10-6的气体。较多的应用于实验室、半导体行业和其他相关产业。我公司已安装了多个实验室超高纯气体管道工程,包括中科院的高端实验室,具有丰富的经验。

高纯和超高纯气体工程通常采用现场集中供气的模式,已经广泛应用于实验室、半导体行业的生产和研发。气源的选择按照不同的用气规模选用低温贮槽、杜瓦罐、钢瓶气汇流排等。配置汽化器或汇流排等手动、自动切换系统,实现气体的不间断供应,通过耐压不锈钢管道路将气体输送到用气端,每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独的控制,可以满足各种仪器设备的使用要求。同时在监控室或房间内安装实时监控和报警系统,确保系统可以正常运行。

超高纯气体还会在高纯气体的基础上,增设纯化设备,使气体纯度从5N提高到7N~9N的级别。

集中供气系统需要专人进行日常管理和维护。